匀烤胶一体机 适用于8英寸及以下晶圆的匀胶烤胶工艺 可选耐腐蚀PP柜体或不锈钢柜体 配置自动供胶系统,根据客户工艺选择供胶方式 触摸式人机交互界面,实时显示设备运行状态 高精度伺服控制系统,满足匀胶工艺要求 可选配去边、背洗、光刻胶温控等功能 专业匀胶腔体,通过气流控制可有效提升工艺指标 可选配置空气净化单元（FFU）

显影机 适用于8英寸及以下晶圆的匀胶工艺 可选耐腐蚀PP柜体或不锈钢柜体 全自动显影摆臂,可实现显影液、去离子水、氮气的自动喷洒及吹干 根据工艺要求可选择柱形、扇形显影喷嘴 高精度伺服控制系统,性能稳定 升降式显影腔体,可有效防止显影液体的飞溅 根据工艺需求可选配显影液控温、FFU等功能

喷胶机适用于8英寸及以下晶圆的自动喷胶工艺 全封闭结构,不锈钢框架、镜面不锈钢面板 高精度旋转加热平台,具有晶圆真空吸附及自动顶升功能 供胶系统采用微小流量供液系统,流速连续平稳,流量精确可调 高精度超声波雾化喷嘴,雾化颗粒均匀,超声波雾化功率可调 触摸式人机交互界面,可实现配方编辑及运行状态监控

玻璃制刀机 采用平衡断裂法，确保制造出优秀的刀片 取出抽屉采用双导轨结构，更方便、稳定、耐用 玻璃刀滚轮可自动锁定、复位，有效降低操作失误率 玻璃刀压力可调，适配不同厚度的玻璃 玻璃条定位机构操作简单，稳定可靠 刀肩大小调节方便，提高操作精度 配载划痕长度快速切换装置，操作便捷

超薄切片机 全新设计，切片运动采用直流无刷电机，提高运动稳定性 人性化设计，配载退刀流程，减少样品损坏度 数字化操作界面，一键回程按钮，操作便捷 设备适配多种宽度刀具，适配各项工艺操作 配载分离式控制盒槽孔，保证切片质量 外接式体式显微镜，可实时记录实验步骤

金属圆片冲孔仪 全新设计的TEM冲样器，卧式工作方式，简单轻松，无应力变形和明显毛刺，性能可靠耐用无需维护 冲头采用高品质模具钨钢，数控磨床精密加工成型，同轴度高，表面光洁，配合间隙可控，减少毛刺的产生 冲头经过热处理进一步提高表面硬度，可实现万次以上冲切，免维护 冲样器基座，采用铝合金加工，轻便灵巧 杠杆式用力方式，力道适中，压合轻松，有适当回弹力 自动卸料机构，冲切后样品自动顶出落入收集盒，拿